| 摘要 |
본 발명은 장치 및 이를 이용한 방법에 관한 것으로 상기 장치는 개방 동작 모드와 폐쇄 동작모드 중 어느 하나로 동작할 수 있다. 이 장치는 요구시에 개방 동작 모드와 폐쇄 동작 모드 사이를 용이하게 변경할 수 있다. 본 발명에 따라, 환경적으로 제어된 통로(들)는 주위를 하나 이상의 처리실과 연결한다. 처리실(들) 상류의 공기 증폭 능력은 요구시 공기의 유동이 처리실(들)에 도입되게 한다. 대안적으로, 이들 통로를 통한 주위에 대한 배기를 차단하기 위해 간단히 밸브를 작동함으로써 유체 통로가 용이하게 폐쇄된다. 비 주위 유체의 또 다른 유동은 주위 공기 도입에 이용되는 통로와 적어도 부분적으로 공통인 통로를 경유해 처리실(들)에 도입될 수 있다. 다른 태양에서는, 이동가능한 요소 사이의 갭(들)은 밀봉을 위해 직접 물리적 접촉에만 의존하지 않고 유동 기체 커튼으로 적어도 밀봉된다. |
