RESTRICTING PLATE UNIT, VAPOR DEPOSITION UNIT, AND VAPOR DEPOSITION DEVICE

摘要

증착 유닛(1)은, 증착 마스크(50)와 증착원(10)과 제한판 유닛(20)을 구비하고 있다. 제한판 유닛(20)은 X축 방향으로 이격하여 설치된 복수의 제1 제한판(32)과, 평면에서 볼 때 제1 제한판(32) 위에 X축 방향으로 이격하여 설치된 복수의 제2 제한판(42)을 구비하고, 제2 제한판(42)은 X축 방향으로, 제1 제한판(32) 1장에 대하여 적어도 2장 설치되어 있다.