| 摘要 |
광학적 계측을 위한 자동 파장 또는 각도 프루닝이 설명된다. 광학적 계측을 위한 자동 파장 또는 각도 프루닝을 위한 방법의 일 실시예는, 복수의 파라미터들을 포함하는 구조체의 모델을 결정하는 단계; 모델에 대한 파장-의존 또는 각도-의존 데이터의 데이터세트를 설계하고 연산하는 단계; 데이터세트를 컴퓨터 메모리에 저장하는 단계; 데이터세트에 이상점 검출 기술을 적용하는 단계와, 각각의 데이터 이상점이 각도 또는 파장인 임의의 데이터 이상점들을 식별하는 단계를 포함하는, 모델에 대한 데이터세트의 분석을 프로세서를 이용하여 수행하는 단계; 및, 모델의 데이터세트의 분석에서 임의의 데이터 이상점들이 식별되는 경우, 수정된 데이터세트를 생성하기 위하여 데이터 이상점들에 대응하는 파장들 또는 각도들을 데이터세트로부터 제거하고 수정된 데이터세트를 컴퓨터 메모리에 저장하는 단계를 포함한다. |
