| 发明名称 |
APPARATUS AND METHODS FOR FINDING A BEST APERTURE AND MODE TO ENHANCE DEFECT DETECTION |
| 摘要 |
검사 툴의 모드를 최적화하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 검사 툴의 복수의 제1 애퍼처의 각각에 대한 제1 이미지 또는 신호가 획득되고, 각각의 제1 이미지 또는 신호는 결함 영역에 관련한다. 제1 애퍼처 및 그 제1 이미지 또는 신호의 복수의 조합 각각에 대해, 합성 이미지 또는 신호가 획득된다. 각 합성 이미지의 결함 검출 특성에 기초하여 제1 애퍼처의 조합 중 최적 조합을 결정하기 위해 각 합성 이미지 또는 신호가 분석된다. |
| 申请公布号 |
KR20160015321(A) |
申请公布日期 |
2016.02.12 |
| 申请号 |
KR20157037153 |
申请日期 |
2014.06.03 |
| 申请人 |
KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
KOLCHIN PAVEL;WALLINGFORD RICHARD (DICK);GAO LISHENG;CHEN GRACE H.;HUBER MARKUS;DANEN ROBERT |
| 分类号 |
G01N21/95;G01N21/88;G06T7/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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