发明名称 Apparatus for ejecting dies
摘要 다이를 이젝팅하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는, 다이싱 테이프에 부착된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛이 내장되며 개방된 하부를 갖는 후드와, 상기 후드의 개방된 하부에 삽입되는 본체를 포함하는 다이 이젝터와, 상기 다이 이젝터의 일측에 배치되며 교체용 이젝팅 유닛이 내장된 적어도 하나의 교체용 후드가 수납된 후드 수납 유닛과, 상기 후드를 상기 교체용 후드로 교체하기 위하여 상기 다이 이젝터와 상기 후드 수납 유닛 사이에서 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 이송하는 후드 이송 유닛을 포함한다. 이때, 상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 인식 코드가 부착되며, 상기 인식 코드를 읽기 위한 코드 리더기가 상기 후드 수납 유닛에 인접하도록 배치된다.
申请公布号 KR101593801(B1) 申请公布日期 2016.02.12
申请号 KR20140064995 申请日期 2014.05.29
申请人 세메스 주식회사 发明人 이희철;최현옥
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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