| 摘要 |
【課題】ガードリング溝とＸ線の検出位置を特定するためのセグメント溝を有するＸ線検出器を提供する。【解決手段】ｐ層１１、ｉ層１２、ｎ＋層１３によってｐ−ｉ−ｎ接合が形成され、ｎ＋層が平面視で円形状である半導体積層体１０と、ｐ層に接合されたｐ側電極２０と、ｎ＋層に積層されたｎ側電極３０と、ｎ側電極及び半導体積層体の周辺領域に円環形状に配置され、ｎ側電極及びｎ＋層を貫通してｉ層に達するガードリング溝５０と、ｎ側電極及びｎ＋層を貫通してｉ層に達し、ガードリング溝の内側においてｎ側電極及びｎ＋層を平面視で複数の領域に分割する直線状のセグメント溝６０とを備え、平面視でセグメント溝とガードリング溝が交差し、セグメント溝の端部がガードリング溝の外側に延在している。【選択図】図１ |
