| 摘要 |
양극 산화 알루미나의 표면의 미세 요철 구조의 형상이나 양극 산화 알루미나의 두께를 간단하게 검사할 수 있는 검사 장치 및 검사 방법 등을 제공하는 것. 발명의 양극 산화 알루미나의 검사 장치는, 검사 대상의 양극 산화 알루미나에 광을 조사하는 조사 수단(22)과, 편광 수단을 통과한 광을 촬상하는 촬상 수단(24)과, 조사 수단으로부터 조사된 광을 편광시키는 편광 수단(28)과, 촬상 수단에 의해 촬상된 화상으로부터 얻어진 색정보에 근거하여 양극 산화 알루미나의 상태의 양부를 판정하는 화상 처리 수단(26)을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다. |
