본원에서 설명되는 실시예들은 일반적으로, 미세 금속 마스크의 능동적 정렬에 관한 것이다. 미세 금속 마스크는 복수의 마이크로 액츄에이터들을 통해 프레임과 연결된다. 마이크로 액츄에이터들은, 마스크를 스트레칭하거나, 마스크를 재포지셔닝하거나, 또는 양자 모두를 하기 위해, 미세 금속 마스크에 작용할 수 있다. 이러한 방식으로, 미세 금속 마스크의 크기 및 포지션이 기판에 대해 유지될 수 있다.
申请公布号
KR20160015214(A)
申请公布日期
2016.02.12
申请号
KR20157032977
申请日期
2014.04.21
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
WHITE JOHN M.;VISSER ROBERT;HAAS DIETER;VERCESI TOMMASO;LOPP ANDREAS
