CU BALL

摘要

Cu 이외의 불순물 원소를 일정량 이상 함유해도 α선량이 적고 진구도가 높은 Cu 볼을 제공한다. 소프트 에러를 억제하여 접속 불량을 저감시키기 위해, U 및 Th의 함유량을 5ppb 이하로 하고, 순도를 99.995％ 이하로 해도, α선량은 0.0200cph/㎠ 이하이다. 또한, 예상외로서도, 순도가 99.995％ 이하로 한 것에 의해 Cu 볼의 진구도가 향상되었다.