图案检查计测装置及程式

摘要

供一种：在使用有从对于检查或计测对象图案进行摄像所得到的画像资料而抽出的边缘之位置的检查或计测中，能够降低杂讯等之影响并提升检查或计测结果之信赖性的图案检查计测装置一事，作为目的。
一种使用以边缘抽出参数来从对于检查或计测对象图案进行摄像所得到的画像资料所抽出的边缘之位置，来进行检查或计测对象图案之检查或者是计测的图案检查计测装置，其特征为，系使用代表成为检查或计测之基准的形状之基准图案、和前述画像资料，来产生前述边缘抽出参数。

主权项

一种图案检查计测装置，系为使用边缘抽出参数来从对于检查或计测对象图案进行摄像所得到的画像资料所抽出的边缘之位置，来进行前述检查或计测对象图案之检查或者是计测的图案检查计测装置，其特征为，具备有：边缘抽出参数产生部，系使用成为前述检查或计测之基准的基准图案、和前述画像资料，来产生前述边缘抽出参数。