| 发明名称 |
阻剂组成物及阻剂图案的产生方法 |
| 摘要 |
明提供一种阻剂组成物，系含有：具有衍生自式(a)所示化合物之结构单元之树脂；以及酸产生剂。 |
| 申请公布号 |
TWI521302 |
申请公布日期 |
2016.02.11 |
| 申请号 |
TW100130865 |
申请日期 |
2011.08.29 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
增山达郎;山本敏;市川幸司 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);C08F20/18(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种阻剂组成物，系含有：树脂，系具有衍生自式(a)所示化合物之结构单元；以及酸产生剂，
其中，R1表示氢原子或甲基；R2表示具有卤原子之C1至C18脂肪族烃基或式(a-g2)所示基；-A13-X12-A14 (a-g2)其中，A13表示视需要具有卤原子之C3至C17脂肪族烃基；X12表示羰氧基或氧羰基；A14表示视需要具有卤原子之C3至C17脂肪族烃基；但，A13、A14以及X12之碳原子总数为17或17以下；A13及A14其中之一或两者具有卤原子；A1表示视需要取代的C1至C6烷二基或(a-g1)式所示基；
其中，s表示0或1；A10以及A12独立地表示视需要取代的C1至C5脂肪族烃基；
A11表示单键或视需要取代的C1至C5脂肪族烃基；X10以及X11独立地表示氧原子、羰基、羰氧基或氧羰基；但，A10、A11、A12、X10及X11之碳原子总数为6或6以下。
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| 地址 |
日本 |
