石墨烯镀层之制造方法

摘要

石墨烯镀层之制造方法，以一溅镀制程在一基材上形成一石墨镀层，以及对该石墨镀层进行一微影制程，以使该石墨镀层薄化成一石墨烯层。

主权项

一种石墨烯镀层之制造方法，以一溅镀制程在一基材形成一石墨镀层，该溅镀制程是在一溅镀机进行，该溅镀机具有一真空腔，在该真空腔中放置一石墨靶材及该基材，且提供一反应性气体于该真空腔内，以进行该溅镀制程；进行一通气步骤，其系通入一氩气于该真空腔；以及对该石墨镀层进行一微影制程，该微影制程系以一离子源薄化该石墨镀层，以使该石墨镀层之部份自该石墨镀层剥离而薄化成一石墨烯层。