薄膜形成方法及薄膜形成装置

摘要

明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。藉由反覆进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案之区域的边缘之弹着与已弹着之薄膜材料的固化，在形成薄膜图案之区域的边缘，形成由薄膜材料构成之边缘图案。以边缘图案来使薄膜材料的液滴弹着于分隔出边缘之内部区域。使弹着于内部区域之薄膜材料固化。形成由边缘图案和弹着于内部区域之薄膜材料构成之薄膜图案。

主权项

一种薄膜形成方法，其具有：藉由反覆进行薄膜材料的液滴向基板的表面中形成薄膜图案之区域的边缘之弹着与已弹着之薄膜材料的固化，在形成前述薄膜图案之区域的边缘，形成由薄膜材料构成之边缘图案之步骤；使薄膜材料的液滴弹着于藉由前述边缘图案分隔出边缘之内部区域之步骤；及使弹着于前述内部区域之薄膜材料固化之步骤，于形成前述边缘图案之步骤中，使形成有吐出前述薄膜材料之复数个喷嘴孔之喷嘴单元，与保持前述基板之载物台的其中一方相对另一方移动之同时，使前述薄膜材料从前述喷嘴孔吐出，藉由此，形成前述边缘图案，于使薄膜材料的液滴弹着于藉由前述边缘图案分隔出边缘之内部区域之步骤中，在将前述基板保持于前述载物台的状态下，使形成有吐出前述薄膜材料之复数个喷嘴孔之喷嘴单元，与保持前述基板之载物台的其中一方相对另一方移动之同时，藉由于形成前述边缘图案之工程所使用之前述喷嘴单元，使前述薄膜材料弹着于前述内部区域，藉由此，在前述内部区域形成薄膜。