低温泵系统、极低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法

摘要

明提供一种低温泵系统、极低温系统、压缩机单元的控制装置及其控制方法，其课题为，提供能够藉由用于极低温系统的压缩机单元的作用来有助于系统运转持续性的控制。本发明的压缩机控制器(168)具备：控制量运算部(176)，运算包括第1控制量和第2控制量在内之至少2个控制量，前述第1控制量为，用于控制与用于使极低温装置产生寒冷之工作气体量相关联之第1控制对象，前述第2控制量为，用于控制与工作气体量相关联，且不同于第1控制对象之第2控制对象，并且与第1控制量通用；及选择部(186)，基于至少2个控制量的比较，从包括第1控制对象和第2控制对象在内之至少2个控制对象中，选择应控制之控制对象。

主权项

一种低温泵系统，具备：低温泵，具备低温板和用于冷却该低温板之冷冻机；及压缩机单元，用于将工作气体供给于前述冷冻机；及控制部，用于选择性执行利用通用控制量之前述压缩机单元的至少2种运转控制中的任一种，前述至少2种运转控制包括：第1运转控制，利用前述通用控制量来运转前述压缩机单元，以便控制与供给气体量相关联之第1控制对象；及第2运转控制，利用前述通用控制量来运转前述压缩机单元，以便控制与作供给气体量相关联且不同于前述第1控制对象之第2控制对象，前述控制部基于至少2个前述通用控制量的值的比较，来从前述至少2种运转控制当中选择应执行的运转控制，前述至少2个通用控制量的值包括用于前述第1运转控制之前述通用控制量的值，和用于前述第2运转控制之前述通用控制量的值，前述第1运转控制为作为常态而选择之运转控制，前述第2运转控制为，基于目标值与前述第2控制对象的偏差，来决定前述通用控制量之压缩机保护控制，该目标值系为了保护前述压缩机单元而对前述第2控制对象设定之值。