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一种化学增幅正型阻剂材料，其特征系含有(A)有机溶剂、(B)基质树脂、(C)光酸产生剂、(D)下述一般式(1)或(2)所示之苯并三唑化合物而成，且(B)成分之基质树脂含有具有下述一般式(4)所示之重复单元的重量平均分子量1,000~500,000之高分子材料与具有下述一般式(5)所示之重复单元的重量平均分子量10,000~500,000的聚乙烯醚共聚合物高分子材料，
〔(式中、P为氢原子、羟基、非取代或者具有取代基的烷基、非取代或者具有取代基的苯基、磺酸或者其衍生物、或-Z-Y(但，Z为可以羧基取代的伸烷基、环伸烷基或伸烷基醚基，Y为羟基、烷氧基、羧基、或二烷基胺基)，Q为氢原子、卤素原子、羟基、烷基、烷氧基、或下述式(3)所示之有机基)
(式中、S为碳数1~12之烷基或醛基)〕
(式中、T为氢原子、羟基、非取代或者具有取代基的烷基、或非取代或者具有取代基的苯基，W为氢原子、卤素原子、羟基、烷基、或烷氧基)
(式中、R1为氢原子、羟基、直链状烷基、分支状烷基、卤素原子、或三氟甲基，R2为氢原子、羟基、卤素原子、或三氟甲基，R3为碳数4~12的三级烷基，R4为氢原子、酸不安定基、或二三氟甲基羟基，R5为氢原子或甲基，R6为氢原子、甲基、烷氧基羰基、氰基、卤素原子、或三氟甲基，R7为碳数4~30的烷基，又，n为1~4之整数，m为0或1~5之整数，p、r、s为0或正数，q为正数，p+q+r+s=1)
(式中、R8为氢原子、或碳数1~12的直链状或分支状烷基，R9为氢原子或甲基，R10为氢原子或下述一般式(6)
(式中、R12为氢原子或甲基)所表示的有机基，R11为上述一般式(6)所表示的有机基、腈基、或卤素原子，t+u=1，0≦u≦0.5)。
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