| 主权项 |
一种位置检测器之精度补正方法，其特征在于：该位置检测器系使以一定间距图案配置被测定对象之一次侧构件、与作为测定部之二次侧构件之相对位置，以一定速度或角速度变化，藉此进行位置之检测者；且该方法系：记忆上述二次侧构件之相对位置于移动自通过上述被测定对象之第n个阶段至到达第n+1个阶段为止之l间距之长度或角度p之期间，以一定时间间隔△t为单位所检测出之间距范围内之时刻i．△t(i为取样编号0~N-1之自然数)时之位移量Gn[i]；将移动上述第n个阶段至上述第n+1个阶段之上述p之时间设为T，根据S=p/T求出平均速度或平均角速度S，并根据En[i]=Gn[i]-i．S．△t-Gn[0]求出上述第n个阶段至上述第n+1个阶段之间距内之内插误差En[i]；且于将当前之上述二次侧构件之相对位置即检测位置设为第m个阶段至第m+1个阶段之间距范围内之检测位置Gm，且n-a≦m≦n+a(a为预先规定之整数)之情形时，求出|Gm-Gn[i]|成为最小之i=I之内插误差En[I]，并根据X'=p．m+Gm-En[I]求出上述被测定对象之自零点位置起之位置即检测位置X'。
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