发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen |
摘要 |
Vorrichtung und Verfahren zur Energieeinsparung und gleichzeitigen Erhöhung der Durchlaufgeschwindigkeit bei Vakuum-Beschichtungsanlagen die aus einer Abfolge von Sputter-Segmenten (3) und Gas-Trennsegmenten (2) mit einer durchlaufenden Substrat-Ebene (1) bestehen, mit den folgenden Merkmalen: a) die Sputter-Segmente (3) bestehen jeweils aus einer Kessel-Wanne (12) mit einer innenliegenden Transporteinrichtung (11) wobei der Kessel-Flansch (6) in unmittelbarer Nähe über der Substrat-Ebene (1) angesetzt ist und wobei sich ein Kathoden-Lagerblock (5) mit Targets (8) und Gas-Einlasskanälen (10) in unmittelbarer Substratnähe mit Spritzblechen (9) im Kessel-Deckel (4) befinden, b) die Gas-Trennsegmente (2) weisen im Bereich der Substrat-Ebene (1) einen, über die gesamte Länge des Gas-Trennsegments (2) verlaufenden, Tunneldeckel (14) auf, c) die Evakuierung von Sputter-Segmenten (3) und/oder Gas-Trennsegmenten (2) erfolgt mittels einer oder mehrerer Vakuumpumpen (15), wobei die dabei geförderte Luft in einem volumenveränderlichen Luftspeicher (25) aufgefangen wird. |
申请公布号 |
DE102014011877(A1) |
申请公布日期 |
2016.02.11 |
申请号 |
DE20141011877 |
申请日期 |
2014.08.11 |
申请人 |
GRENZEBACH MASCHINENBAU GMBH |
发明人 |
KLEIDEITER, GERD;KRISCH, THOMAS;FIUKOWSKI, JÖRG;GAWER, OLAF;PERATA, MICHAEL ROBERT |
分类号 |
C23C14/56;C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/56 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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