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광학 계측을 위한 높은 상관관계를 파라미터들의 상관관계를 동적으로 제거하는 방법이 개시되었다. 방법의 실시예는 구조의 모델로서, 파라미터들의 집합을 포함하는 상기 모델을 결정하는 단계, 상기 구조에 대한 광학 계측 측정을 수행하는 단계로서, 하드웨어 요소상의 스펙트럼 데이터를 수집하는 것을 포함하는, 상기 단계; 구조의 측정 동안, 파라미터들의 집합중의 두 개 이상의 파라미터들의 상관관계를 동적으로 제거하는 단계인데, 상관관계의 동적 제거의 반복은, 파라미터의 집합으로 이루어진 야코비 행렬을 생성하는 단계; 야코비 행렬의 특이값 분해를 적용하는 단계; 파라미터 집합의 부분집합을 선택하는 단계; 및 파라미터의 부분집합에 기초하여 파라미터 탐색의 방향을 계산하는 단계를 포함하는, 상기 제거하는 단계를 포함하는, 상기 제거하는 단계; 모델이 수렴하지 않으면, 모델이 수렴할 때까지 상관관계의 동적 제거의 하나 이상의 추가적인 반복을 수행하는 단계; 및 모델이 수렴하면, 측정 결과를 보고하는 단계를 포함한다. |
