发明名称 抛光设备
摘要 抛光设备,系包括:具有容置空间之机台本体、设于该容置空间上侧之固定装置、以及设于该容置空间下侧之抛光装置,且该固定装置系包含相邻接之作用部及延伸部,该作用部系相对该延伸部朝该第二侧之方向凸出,以固定至少一欲抛光件,而该延伸部系相隔一间隙固定该欲抛光件,以于进行抛光作业时,能固定该欲抛光件之边缘,而能避免该欲抛光件之边缘因震动而损坏之发生。
申请公布号 TWM517409 申请公布日期 2016.02.11
申请号 TW104217247 申请日期 2015.10.28
申请人 正恩科技有限公司 发明人 陈孟端
分类号 H01L21/304(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 陈昭诚
主权项 一种抛光设备,系包括:机台本体,系具有相对之第一侧与第二侧,以及位于该第一侧与第二侧之间之一容置空间;固定装置,系设于该机台本体之第一侧上并位于该容置空间中,且该固定装置系包含相邻接之作用部及延伸部,该作用部系相对该延伸部朝该第二侧之方向凸出,以固定至少一欲抛光件,而该延伸部系相隔一间隙固定该欲抛光件;以及抛光装置,系设于该机台本体之第二侧上并位于该容置空间中。
地址 台北市中正区博爱路35号14楼