发明名称 |
晶粒退出装置 |
摘要 |
晶粒退出装置,包括基座、晶粒退出器、支架承载单元以及支架传送单元。基座用以支撑附着复数晶粒之切割带。晶粒退出器包括放置于基座下且用以选择性地将晶粒之一者向上推之退出单元、包括用以垂直移动退出单元之本体以及第一支架,其中退出单元内建于第一支架且第一支架具有下开口以允许本体之顶端插入。支架承载单元放置于基座之一边,支架承载单元内建复数第二支架以及复数退出单元。支架传送单元用以传送介于晶粒退出器以及支架承载单元间之第二支架,而以支架承载单元内之第二支架之一者更换第一支架。
|
申请公布号 |
TWI521586 |
申请公布日期 |
2016.02.11 |
申请号 |
TW102135626 |
申请日期 |
2013.10.02 |
申请人 |
细美事有限公司 |
发明人 |
方镐千;李喜澈;林锡泽;崔玹玉 |
分类号 |
H01L21/304(2006.01);H01L21/58(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/304(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
洪澄文 |
主权项 |
一种晶粒退出装置,包括:一基座,用以支撑附着复数晶粒之一切割带;一晶粒退出器,包括放置于上述基座下且用以选择性地将上述晶粒之一者向上推之一退出单元、包括用以垂直移动上述退出单元之一本体以及一第一支架,其中上述退出单元内建于上述第一支架且上述第一支架具有一下开口以允许上述本体之一顶端插入;一支架承载单元,放置于上述基座之一边,上述支架承载单元内建复数第二支架以及复数退出单元,并包括复数支架承载部件,以分别承载上述第二支架;以及一支架传送单元,用以传送介于上述晶粒退出器以及上述支架承载单元间之上述第二支架,而以上述支架承载单元内之上述第二支架之一者更换上述第一支架,其中上述支架传送单元包括一支架抓取器和一传送部件,上述抓取器用以抓取上述第一支架之一外部表面,且上述传送部件用以水平地和垂直地传送上述支架抓取器。
|
地址 |
南韩 |