LIQUID TITANIUM OXIDE COMPOSITIONS, METHODS FOR FORMING THE SAME, AND METHODS FOR ETCHING MATERIAL LAYERS OF OR OVERLYING SUBSTRATES USING THE SAME

摘要

본 발명은 산화티탄 액상 조성물,이 조성물의 제조 방법, 및 이 조성물을 사용한 기판의 피복 방법 또는 이의 물질층의 에칭 방법에 관한 것으로을 제공한다. 예시적인 구현예에 따르면, 산화티탄 액상 조성물은 용매계, 오르가노티타네이트, 및 약 140 ℃ 내지 약 400 ℃ 범위의 비점을 갖는 고비점 용매를 함유한다.