抛光设备及其承载装置

摘要

抛光设备之承载装置，系包括一用以承载欲抛光件之承载本体、以及设于该承载本体上并位于该欲抛光件周围之隔离部，以于进行抛光作业时，浆液会留于该隔离部表面上，而不会沿该承载本体渗入该欲抛光件与该承载本体之间，故相较于知技术，能避免浆液破坏该欲抛光件下之承载本体之黏性。

主权项

一种承载装置，系包括：承载本体，系用以承载欲抛光件；以及隔离部，系设于该承载本体上并位于该欲抛光件周围。