| 发明名称 |
氧化物烧结体及其制造方法、溅镀靶材、氧化物透明导电膜及其制造方法与太阳电池 |
| 摘要 |
明提供一种氧化物烧结体2，由方铁锰矿型氧化物相及钙钛矿型氧化物相之结晶相、或方铁锰矿型氧化物相之结晶相构成；结晶相具有作为构成元素之铟、锡、锶及氧；铟、锡及锶之含有量为，满足下式(1)及(2)的原子比，并提供一种溅镀靶材。此外，提供使用溅镀靶材形成之氧化物透明导电膜及太阳电池。 |
| 申请公布号 |
TWI520924 |
申请公布日期 |
2016.02.11 |
| 申请号 |
TW100135305 |
申请日期 |
2011.09.29 |
| 申请人 |
东曹股份有限公司 |
发明人 |
仓持豪人;松丸庆太郎;秋池良;内海健太郎;涩田见哲夫 |
| 分类号 |
C04B35/01(2006.01);C04B35/622(2006.01);H01B1/08(2006.01);H01B5/14(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/08(2006.01);H01L31/00(2006.01) |
主分类号 |
C04B35/01(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
周良谋;周良吉 |
| 主权项 |
一种氧化物烧结体，由方铁锰矿型氧化物相及钙钛矿型氧化物相、或方铁锰矿型氧化物相之结晶相构成；该结晶相含有铟、锡、锶及氧作为其构成元素；铟、锡及锶之含有量，其原子比满足下式(1)及(2)：Sn/(In+Sn+Sr)=0.01~0.11 (1) Sr/(In+Sn+Sr)=0.0005~0.004 (2)上式(1)及(2)中，In、Sn、Sr分别表示铟、锡及锶之含有量(原子%)。
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| 地址 |
日本 |
