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<p>Plasmabearbeitungsvorrichtung mit einem Vakuumsystem (10) zur Bearbeitung von Substraten (11) und mit einem Mikrowellenresonator (1) zur induktiven Erzeugung eines Plasmas (40), dadurch gekennzeichnet, dass, der Mikrowellenresonator (1) eine elektrisch leitfähige Basis (2) mit einer durchgehenden Öffnung (3), in die Mikrowellenergie eines Mikrowellengenerators (30) einkoppelbar ist, aufweist, wobei die Öffnung (3) das im Betrieb erzeugte Plasma (40) aufnimmt, und die elektrisch leitfähige Basis (2) eine Diskontinuität (4) gefüllt mit einem Dielektrikum zur Bildung einer Kapazität aufweist, wobei sich die Diskontinuität (4) von der durchgehenden Öffnung (3) hinweg in die leitfähige Basis (2) erstreckt und das im Betrieb erzeugte Plasma (40) zum Substrat (11) im Vakuumsystem (10) transportierbar ist.</p> |
