包括静电基材载具之支撑件

摘要

明提供一种支撑件，其包含：一被导电地偏压的桌台；一圆筒形式绝缘的静电基材载具(20)，其具有一肩部(21)，该基材载具(20)的底面系面向该被偏压的桌台且其顶面(22)提供一承载平面其被设计来接纳基材；及一导电的夹紧套环，用来将该肩部(21)抵靠着该被偏压的桌台夹紧。

主权项

一种支撑件，其包含：一被导电地偏压的桌台(10)；一圆筒形式绝缘的静电基材载具(20)，其具有一肩部(211)，该基材载具(20)的底面系面向该被偏压的桌台(10)且其顶面(22，212)提供一承载平面，其被设计来接纳基材(40)；及一导电的夹紧套环(30)，用来将该肩部(211)抵靠着该被偏压的桌台(10)夹紧；该支撑件的特征在于它包括至少一导电元件(201，202，203，213-215)，用来将该承载平面连接至该肩部(211)。