发明名称 工件搬送系统
摘要 提供一种可改善所使用之生产线之生产效率之工件搬送系统。例如,工件搬送系统1包括:机器人11、12,其配置于对工件W进行特定处理之处理模组4、6之前方,进行工件W向处理模组4、6之搬入及工件W自处理模组4、6之搬出;工件收纳部13,其收纳向处理模组4、6搬入之工件W及自处理模组4、6搬出之工件W;及移动机构14,其使工件收纳部13向与工件W对处理模组4、6之搬入搬出方向大致正交之方向移动。
申请公布号 TWI521633 申请公布日期 2016.02.11
申请号 TW101144039 申请日期 2012.11.23
申请人 日本电产三协股份有限公司 发明人 改野重幸
分类号 H01L21/677(2006.01) 主分类号 H01L21/677(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项 一种工件搬送系统,其特征在于包括:机器人,其配置于对工件进行特定处理之处理模组之前方,进行上述工件向上述处理模组之搬入及上述工件自上述处理模组之搬出;工件收纳部,其收纳向上述处理模组搬入之上述工件及自上述处理模组搬出之上述工件;及移动机构,其使上述工件收纳部向与上述工件对上述处理模组之搬入搬出方向大致正交之方向移动;其包括排列于上述工件收纳部之移动方向上,且分别与上述处理模组相对而配置之复数个上述机器人,且于上述工件收纳部中可收纳复数个上述工件。
地址 日本