| 主权项 |
一种电浆处理装置，系具有：处理室，其系配置于真空容器内，在外周配置有螺线线圈，藉由螺线线圈所生成之磁场与微波产生相互作用，形成电浆；试料台，其系于其上面载置前述电浆之处理的对象的试料，具有配置成同心圆状且冷媒流通于内侧的复数的冷媒流路，作为第1蒸发器的机能；冷媒的入口及冷媒的出口，其系配置于前述复数的冷媒流路；及排气手段，其系将前述处理室的内部排气而减压，其特征为前述复数的冷媒流路系包含：被配置于前述试料台的中央侧的中央侧冷媒流路、及配置于其外周侧的外周侧冷媒流路，具有：分别连结至该等的冷媒流路的前述冷媒的入口及冷媒的出口，而调节往该各个冷媒的入口流入的冷媒及从各个冷媒的出口流出的冷媒的流量或压力之复数的上游侧膨胀阀及下游侧膨胀阀，具备：压缩机、冷凝器、前述复数的上游侧膨胀阀、前述复数的冷媒流路、前述复数的下游侧膨胀阀及第2蒸发器系以此顺序藉由冷媒的管路来连结构成以前述的顺序流通冷媒的冷冻循环，以分别流动于前述中央侧冷媒流路及外周侧冷媒流路
的前述冷媒，在对应于各冷媒流路的前述上游侧膨胀阀与前述下游侧膨胀阀之间流动的前述冷媒的流量的变化不会产生的方式调节对应于该等冷媒流路的各前述上游侧膨胀阀及前述下游侧膨胀阀的开度。
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