| 发明名称 |
负型感光性树脂组成物、感光性乾薄膜及受光装置 |
| 摘要 |
明课题为提供一种负型感光性树脂组成物，其可形成显像性、解像性、图案化后的接着性优异的感光性树脂层；一种感光性乾薄膜，其具有由该组成物所构成之感光性树脂层；以及一种受光装置，其具备该组成物硬化而成之间隔物。 |
| 申请公布号 |
TWI521301 |
申请公布日期 |
2016.02.11 |
| 申请号 |
TW100112970 |
申请日期 |
2011.04.14 |
| 申请人 |
东京应化工业股份有限公司 |
发明人 |
先崎尊博;加藤哲也 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/038(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种负型感光性树脂组成物，其含有：具有酚性羟基之硷可溶性树脂(A1)、光酸产生剂(B1)、交联剂(C1)、下述一般式(D-1)所表示之环氧树脂(D)及溶剂(S)，
[一般式(D-1)中，Rd1及Rd2各自独立表示氢原子或甲基、Rd3~Rd6各自独立表示氢原子、甲基、氯原子、或溴原子，A表示伸乙氧基乙基、二(伸乙氧基)乙基、三(伸乙氧基)乙基、伸丙氧基丙基、二(伸丙氧基)丙基、三(伸丙氧基)丙基、或碳数2~15之伸烷基，n为自然数，其平均为1.2~5]。
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| 地址 |
日本 |
