基板移除装置及利用该基板移除装置制造平板显示装置的方法

摘要

包括一初始间隙形成单元和一前吸附型移除单元的基板移除装置，以及一种利用该基板移除装置分离辅助基板之制造平板显示装置的方法。制造一薄面板基板的程序藉由利用该辅助基板得以容易执行，且关于一完成程序的基板，该辅助基板藉由利用包括一初始间隙形成单元和一具有一载台的前吸附型移除单元的一基板移除装置可以容易地从该面板基板分离，在该载台上形成有翼型O型环和复数个真空吸附线。

主权项

一种基板移除装置，包括：一初始间隙形成单元，配置以当一母基板载入时，在藉由贴附一辅助基板与一面板基板而形成的该母基板中形成一初始间隙，其中该初始间隙形成单元包括：一吸附载台，所输送的该母基板被载入至其中，一推针模组，配置以控制一推针以施压该母基板的一角切部，一视觉对位模组，配置以成像形成在该母基板中的该角切部且定位该推针以对应于该角切部，以及一间隙刀模组，配置以供应一间隙刀至被该推针加压的该角切部的一基板接触部以形成一初始间隙；以及一前吸附型移除单元，配置以藉由在该初始间隙形成的该母基板已载入至其上的一载台上所形成的一矩形翼型O型环真空吸附该辅助基板，以从该面板基板分离该辅助基板。