| 主权项 |
一种搬送装置，其系使设置有支撑被搬送物的夹爪并且沿着前述被搬送物的搬送方向而水平配置之进给杆，移动于属于前述被搬送物的搬送方向之第1方向、属于与该第1方向呈正交的水平方向之第2方向、以及属于上下方向之第3方向，而于排列在前述被搬送物的搬送方向之复数个处理部间搬送前述被搬送物，该搬送装置具备进给杆移动单元，该进给杆移动单元系由下列构件一体化而构成，该等构件包含：底架，系固定在外部的支撑体；第1滑动台架，系以可移动于前述第2方向之方式被支撑在前述底架；第2滑动台架，系以可移动于前述第3方向之方式被支撑在前述第1滑动台架；第1方向移动手段，系搭载在前述第2滑动台架，并且使前述进给杆移动于前述第1方向；第2方向移动手段，系搭载在前述底架，并且使前述第1滑动台架连同前述第2滑动台架及前述进给杆移动于前述第2方向；以及第3方向移动手段，系搭载在前述第1滑动台架，并且使前述第2滑动台架连同前述进给杆移动于前述第3方向。
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