印刷装置以及印刷方法

摘要

本发明提供一种印刷技术，通过对担载涂敷层的橡皮布等担载体的一部分加压使该担载体的一部分与版抵接来图案成形涂敷层以形成图案层，然后对担载有该图案层的担载体的一部分加压使担载有该图案层的担载体的一部分与基板抵接来将图案层转印至基板，无论担载体的厚度如何变化，都利用担载体稳定地进行高精度的印刷。在即将图案成形前，利用橡皮布厚度测量部（56）实际测量担载有涂敷层（CT）的橡皮布（BL）的厚度，基于实际测量值（第一担载体厚度）调整橡皮布与版（PP）间的间隔。因此，在将该间隔调整到适于利用版进行图案成形的值后，进行涂敷层的图案成形。另外，向基板（SB）转印图案层（PL）的转印与涂敷层的图案成形同样。

主权项

一种印刷装置，对以使担载体担载的涂敷层与版相面对的方式配置的上述担载体的一部分加压来使上述担载体的一部分与上述版抵接，由此图案成形上述涂敷层以在上述担载体上形成图案层，然后对以使上述担载体上的上述图案层与基板相面对的方式配置的上述担载体的一部分加压来使以上述担载体上的上述图案层与基板相面对的方式配置的上述担载体的一部分与上述基板抵接，由此将上述图案层转印至上述基板，上述担载体的厚度随着时间发生变化，其特征在于，包括：测量单元，用于测量上述担载体的厚度，移动单元，使上述版以及上述基板相对于上述担载体移动，控制单元，在即将要图案成形上述涂敷层之前，通过上述测量单元测量担载上述涂敷层的担载体的厚度来求出第一担载体厚度，并且上述控制单元基于上述第一担载体厚度控制上述移动单元来调整担载上述涂敷层的上述担载体与上述版间的间隔，在即将要转印上述图案层之前，通过上述测量单元测量担载上述图案层的担载体的厚度来求出第二担载体厚度，并且上述控制单元基于上述第二担载体厚度控制上述移动单元来调整担载上述图案层的上述担载体与上述基板间的间隔，第一保持单元，用于交替地保持上述版以及上述基板，第二保持单元，配置在从上述第一保持单元向第一方向分离的位置，用于以能够更换的方式保持上述担载体；上述移动单元用于对被上述第二保持单元所保持的上述担载体的一部分进行加压以使被上述第二保持单元所保持的上述担载体的一部分以按压的方式与上述版或者上述基板相抵接，上述测量单元包括传感器和传感器移动机构，其中，上述传感器在从上述第二保持单元向第二方向分离的测量位置，测量上述担载体的厚度，上述传感器移动机构用于使上述传感器在与上述第一保持单元以及上述第二保持单元这两者相分离的退避位置和上述测量位置之间移动，上述控制单元通过控制上述传感器移动机构，在测量上述担载体的厚度时，通过上述传感器移动机构使上述传感器移动并定位在上述测量位置，在图案成形上述涂敷层以及转印上述图案层时，通过上述传感器移动机构使上述传感器移动并定位在上述退避位置。