| 发明名称 | 参照光分支用光学系统以及参照光分支方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种参照光分支用光学系统，其具有：光射出部，其射出光；以及分光器，其将所述光分支为至少1个参照光和向测定对象物进行照射的测定光，该分光器配置为，使从所述光射出部射出的光以入射角小于10度入射。 | ||
| 申请公布号 | CN105319170A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201510455295.6 | 申请日期 | 2015.07.29 |
| 申请人 | 横河电机株式会社 | 发明人 | 前田稔;光本康彦 |
| 分类号 | G01N21/31(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/31(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 何立波;张天舒 |
| 主权项 | 一种参照光分支用光学系统，其具有：光射出部，其射出光；以及分光器，其将所述光分支为至少1个参照光、和向测定对象物进行照射的测定光，该分光器配置为，使从所述光射出部射出的光以入射角小于10度入射。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||