气体供给管及热处理装置

摘要

气体供给管(1)包含一端封闭、管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔(3)的外侧管(2)，以及一端与气体供给源相连、并插入至外侧管(2)的内部的内侧管(5)。由气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过内侧管(5)，通过形成于外侧管(2)内部的外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙(7)，从外侧管(2)的多个贯通孔(3)释放到周围空间。所提供的气体在流过内侧管的期间、和流过外侧管(2)和内侧管(5)之间的间隙的期间，由传导至气体供给管(1)的周围空间的温度加热或冷却。内侧管(5)包含多个小管(5a)～(5d)的集合体。

主权项

一种气体供给管，包括：一端封闭，管壁具备沿长度方向排列的多个贯通孔的外侧管；以及一端与气体供给源相连，且插入至所述外侧管的内部的内侧管，该气体供给管的特征在于，由所述气体供给源提供的气体以如下路径流动：通过所述内侧管，通过形成于所述外侧管的内部的所述外侧管和所述内侧管之间的间隙，从所述外侧管的多个贯通孔释放到所述气体供给管的周围空间，且在流过所述内侧管的期间和流过所述外侧管和所述内侧管之间的间隙的期间，由传导至所述气体供给管的周围空间的温度加热或冷却，所述内侧管包含多个小管的集合体。