一种薄膜产品制备过程中的监控设备

摘要

本发明公开一种薄膜产品制备过程中的监控设备，包括光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片，其特征在于，所述监控片旋转机构和晶控仪探头设置在真空室内，监控片旋转机构由内环、外环和中间的连接钢丝组成。本发明减小了监控片上不同地方的厚度差，保证了光度信号的准确度，提髙了膜层厚度控制精度，结构简单合理，成本低廉，有很好的操作性和实用性。

主权项

一种薄膜产品制备过程中的监控设备，包括光源发射系统、驱动电机、工件架、晶控仪探头、监控片旋转机构、信号接收系统、信号转换系统、晶控仪、计算机、真空室和监控片，其特征在于，所述监控片旋转机构和晶控仪探头设置在真空室内，监控片旋转机构由内环、外环和中间的连接钢丝组成。