搬送夹具及基板制造方法

摘要

本发明涉及搬送夹具及基板制造方法，所述搬送夹具是基板的搬送夹具，其包括：夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板、所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基板，所述真空室与所述吸附孔连接；减压保持部，包含用于向所述真空室供应负压的供应口、以及设置在所述供应口与所述真空室之间的真空阀；其中，在所述真空室被供应负压的状态下所述真空阀通过被关闭而将所述真空室保持在减压状态。由此，能够确保印刷精度，并且通过缩短准备作业时间来能够提高作业效率。

主权项

一种搬送夹具，其特征在于，所述搬送夹具用于在将焊料糊剂印刷在形成于多个独立基板的表面的焊盘上的印刷工序和向印刷所述焊料糊剂后的所述多个独立基板的表面上载置电子元件的元件安装工序中搬送所述多个独立基板，所述搬送夹具包括：夹具主体部，包含基板支撑面、多个吸附孔以及一个真空室，所述基板支撑面上载置以指定方式排列的多个独立基板，所述多个吸附孔用于分别吸附载置在所述基板支撑面上的所述多个独立基板，所述真空室与所述吸附孔连接；减压保持部，包含用于向所述真空室供应负压的供应口、以及设置在所述供应口与所述真空室之间的真空阀；其中，在所述真空室被供应负压的状态下所述真空阀通过被关闭而将所述真空室保持在减压状态，所述基板支撑面被设定为比所述夹具主体部的上表面低一块所述独立基板的板厚。