波导型电光调制器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种波导型电光调制器，包括波导结构和上下电极，所述波导结构包括在衬底上至下而上依次排列的下N型半导体包层、半导体芯层和上N型半导体包层，下电极与下N型半导体包层接触，上电极与上N型半导体包层接触，所述下N型半导体包层和半导体芯层之间具有绝缘体层，或者所述半导体芯层和上N型半导体包层之间具有绝缘体层。本发明还公开了一种波导型电光调制器的制作方法。这种结构的电光调制器可有效的形成电流阻挡，降低光场的波导损耗和微波电极损耗。本发明能够改善电光调制器的调制特性。

主权项

一种波导型电光调制器，包括波导结构和上下电极，所述波导结构包括在衬底上至下而上依次排列的下N型半导体包层、半导体芯层和上N型半导体包层，下电极与下N型半导体包层接触，上电极与上N型半导体包层接触，其特征在于，所述下N型半导体包层和半导体芯层之间具有绝缘体层，或者所述半导体芯层和上N型半导体包层之间具有绝缘体层；其中，半导体包层、绝缘体层和半导体芯层的折射率分别用n₁、n₂、n₃进行约束，满足n₃>n₁、n₃>n₂、n₁>n₂。