| 摘要 |
1. Способ изготовления ударостойкого подшипника, содержащего упругую структуру (10) и связанный с ней центральный участок (14), на котором выполнено глухое отверстие (16; 16A; 16B), предназначенное для приема цапфы системы вращающихся шестерен хронометра, при этом упругая структура и центральный участок выполнены в виде одной детали (6),характеризующийся следующими этапамиA) Изготовление монокристаллической кварцевой пластины (6A), две основные грани которой, соответственно первая и вторая грани, ориентированы, по существу, перпендикулярно оптической оси (Z) кристаллической структуры монокристаллического кварца;B) Формирование первой маски (20) на первой поверхности монокристаллической кварцевой пластины с помощью фотолитографической обработки для образования на первой поверхности контуров указанной упругой структуры и указанного глухого отверстия;C) Обработка указанной упругой структуры и указанного глухого отверстия в указанной монокристаллической кварцевой пластине путем помещения указанной пластины в ванну для химического травления, предназначенную для анизотропного травления монокристаллического кварца, упрощающего травление вдоль указанной оптической оси, при этом указанная первая маска выбирается так, чтобы она выдерживала травление в указанной ванне.2. Способ изготовления ударостойкого подшипника, содержащего упругую структуру (10) и связанный с ней центральный участок (14), на котором выполнено глухое отверстие (16; 16A; 16B), предназначенное для приема цапфы системы вращающихся шестерен хронометра, при этом упругая структура и центральный участок выполнены в виде одной детали (6),характеризующийся следующими этапамиA) Изготовление мон |
