发明名称 |
惰性气体保护储液槽 |
摘要 |
本发明揭示了一种惰性气体保护储液槽,包括槽体、盖、液体输入管及液体输出管、气体输入管和气体输出管。槽体形成容纳空间,槽体顶部开口,槽体内容纳液体,液体是易燃或易挥发液体。盖盖在槽体顶部的开口上,盖与开口密封,盖上具有数个接口。液体输入管及液体输出管通过盖上的接口延伸到槽体内部,液体输入管向槽体内输入液体,液体输出管从槽体内取出液体。气体输入管和气体输出管连接到盖上的接口,气体通过气体输入管导入槽体内部,气体由气体输出管导出,气体输入管持续向槽体内导入气体,气体输出管持续将气体导出槽体外,在槽体内液面的上方形成持续的气流,且槽体内的气体维持预定的压力,气体是惰性气体。 |
申请公布号 |
CN105314298A |
申请公布日期 |
2016.02.10 |
申请号 |
CN201410366139.8 |
申请日期 |
2014.07.29 |
申请人 |
盛美半导体设备(上海)有限公司 |
发明人 |
吴均;王家毅;金一诺;王坚;王晖 |
分类号 |
B65D90/44(2006.01)I |
主分类号 |
B65D90/44(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
陆嘉 |
主权项 |
一种惰性气体保护储液槽,其特征在于,包括:槽体,槽体形成容纳空间,槽体顶部开口,槽体内容纳液体,所述液体是易燃或易挥发液体;盖,盖在槽体顶部的开口上,盖与开口密封,所述盖上具有数个接口;液体输入管及液体输出管,通过盖上的接口延伸到槽体内部,液体输入管向槽体内输入液体,液体输出管从槽体内取出液体;气体输入管和气体输出管,连接到盖上的接口,气体通过气体输入管导入槽体内部,气体由气体输出管导出,所述气体输入管持续向槽体内导入气体,气体输出管持续将气体导出槽体外,在槽体内液面的上方形成持续的气流,且槽体内的气体维持预定的压力,所述气体是惰性气体。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢 |