| 发明名称 | 压电器件、超声波的器件及图像装置、探测器和电子设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种压电器件、超声波的器件及图像装置、探测器和电子设备，压电器件的基体(21)具有开口部(46)。开口部(46)由振动膜(24)堵塞。振动膜(24)支承有压电元件(25)。振动膜(24)包括：第一层(48)，由具有比氧化硅小的渗水性的材料形成；以及第二层(49)，紧贴在第一层(48)上形成，并具有比形成第一层(48)的材料大的韧性值。 | ||
| 申请公布号 | CN105310715A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201510441044.2 | 申请日期 | 2015.07.24 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 黑川贤一 |
| 分类号 | A61B8/00(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I | 主分类号 | A61B8/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 田喜庆;吴孟秋 |
| 主权项 | 一种压电器件，其特征在于，包括：基体，具有开口部；振动膜，用于闭塞所述开口部；以及压电元件，位于所述振动膜上，所述振动膜具有第一层以及紧贴在所述第一层上的第二层，所述第一层具有比氧化硅低的渗水性，所述第二层具有比形成所述第一层的材料大的韧性值。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||