银合金靶材、其制造方法及应用该靶材的有机发光二极管

摘要

本发明提供一种银合金靶材、其制造方法及应用该靶材的有机发光二极管，银合金靶材实质上由银及铟或者银、铟、钯及铜所构成。其平均晶粒尺寸界于33μm到126μm之间。以该银合金靶材的总重量为基准，铟的含量大于等于0.25wt％且小于等于5wt％、钯的含量大于等于0.25wt％且小于等于3.5wt％、铜的含量大于等于0.25wt％且小于等于3wt％。通过预定比例的铟、或者铟、钯与铜的添加，并控制平均晶粒尺寸界于33μm与126μm之间，该银合金靶材可经由溅镀制得兼具有良好耐热性、抗硫化性、附着力、高反射率及高精细度的银合金薄膜。据此，该银合金靶材不仅符合实用性，亦能广泛的应用于有机发光二极管的产业与领域。

主权项

一种银合金靶材，其特征在于，其实质上由银及铟所构成，以该银合金靶材的总重量为基准，铟的含量为大于等于0.25wt％且小于等于5wt％，且该银合金靶材的平均晶粒尺寸界于33μm与126μm之间。