发明名称 シリカの低温合成法
摘要 An ambient pressure Atomic Layer Deposition (ALD) technique to grow uniform silica layers onto organic substrates at low temperatures, including room temperature, is described. For example, tetramethoxysilane vapor is used alternately with ammonia vapor as a catalyst in an ambient environment.
申请公布号 JP5859521(B2) 申请公布日期 2016.02.10
申请号 JP20130514337 申请日期 2011.06.08
申请人 プレジデント アンド フェローズ オブ ハーバード カレッジ 发明人 アイゼンバーグ,ジョアンナ;ハットン,ベンジャミン
分类号 C23C16/455;B65D65/40;B65D85/50;C23C16/42 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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