光偏转器的驱动器及其设定方法

摘要

提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支承反射镜；支承体，其包围可动框；以及第一组压电致动器和与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。压电致动器从支承体连接到可动框。驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波。驱动器将具有第一锯齿波的第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器将具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一原始锯齿波和第二原始锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于它的轴的机械振动系统的固有频率与反射镜的频率的一致。

主权项

一种用于驱动光偏转器的驱动器，所述光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支承所述反射镜；支承体，其包围所述可动框；以及用作悬臂的第一组压电致动器和用作悬臂的与所述第一组压电致动器交替的第二组压电致动器，在所述第一组压电致动器和所述第二组压电致动器中的每个压电致动器在每个致动器处折返并且从所述支承体连接到所述可动框，所述每个压电致动器都与所述反射镜的一个轴平行，所述驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波；所述驱动器生成具有所述第一锯齿波的第一驱动电压并且将所述第一驱动电压施加到所述第一组压电致动器，所述驱动器生成具有与所述第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压并且将所述第二驱动电压施加到所述第二组压电致动器，所述第一原始锯齿波和所述第二原始锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制所述第一驱动电压和所述第二驱动电压的所述第一原始锯齿波和所述第二原始锯齿波的基频的高次谐波分量与取决于所述第一组压电致动器和所述第二组压电致动器的、所述反射镜关于它的所述轴的机械振动系统的固有频率的共振。