一种蒸发源装置

摘要

本发明公开了一种蒸发源装置，包括坩埚、线圈、浮力环和蒸发界面加热装置，线圈环绕于坩埚外侧；坩埚的中间设有一圆柱形中空突起，突起内部设置一铁芯；浮力环为中空的环形结构，浮力环套于坩埚中间的突起上；蒸发界面加热装置包括若干个同心圆环加热片，每个圆环加热片均采用陶瓷包裹圆环铁质薄片的结构，蒸发界面加热装置套于坩埚中间的突起上并置于浮力环上。该蒸发源装置采用感应涡流加热的方法，一方面，在同等条件下，能够显著缩短蒸发速率地稳定时间；另一方面，可对蒸发界面实时、直接加热，补充蒸发带走的热量，有利于提高蒸发速率和蒸发稳定性，便于形成均匀的镀膜。

主权项

一种蒸发源装置，其特征在于：包括坩埚、线圈、浮力环和蒸发界面加热装置，所述线圈环绕于坩埚外侧；所述坩埚的中间设有一圆柱形中空突起，所述突起内部设置一铁芯；所述浮力环为中空的环形结构，浮力环套于坩埚中间的突起上；所述蒸发界面加热装置包括若干个同心圆环加热片，每个同心圆环加热片均采用陶瓷包裹圆环铁质薄片的结构，蒸发界面加热装置套于坩埚中间的突起上并置于浮力环上。