压电元件、压电致动器装置、液体喷射头、液体喷射装置和超声波测定装置

摘要

本发明提供一种能够提高利用90°电畴翻转产生位移的压电体层的压电常数的压电元件。在基板上依次层叠有第1电极(60)、压电体层(70)和第2电极(80)，该压电体层(70)由至少含有Pb、Nb和Ti且具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，压电体层(70)具有作为正方晶的晶体结构，并且该晶体在基板上进行{100}取向，且具有相对于层叠方向垂直的(100)面和(001)面的各区域混存于晶格内，压电体层(70)的复合氧化物由下述通式(1)表示。xPb(Ni_1/3,Nb_2/3)O₃-yPbZrO₃-zPbTiO₃…(1)(10≤x≤40，0＜y≤40，50≤z≤90)。

主权项

一种压电元件，其特征在于，在基板上依次层叠有第1电极、压电体层和第2电极，所述压电体层由至少含有Pb、Nb和Ti且具有钙钛矿结构的复合氧化物构成，所述压电体层具有作为正方晶的晶体结构，并且所述晶体在所述基板上进行{100}取向，且具有相对于所述层叠方向垂直的(100)面和(001)面的各区域混存于所述晶格内，所述压电体层的所述复合氧化物由下述通式(1)表示，xPb(Ni_1/3,Nb_2/3)O₃‑yPbZrO₃‑zPbTiO₃…(1)，10≤x≤40，0＜y≤40，50≤z≤90。