在有机材料的蒸气喷射沉积期间调节流动的系统和方法

摘要

本申请涉及使用对流来空间控制蒸气冷凝。所公开的标的物的实施例提供方法和系统，其包括喷嘴、与所述喷嘴成流体连通的待沉积在衬底上的材料源、与待用所述喷嘴沉积的所述材料源成流体连通的递送气体源、邻近于所述喷嘴安置的排气通道、与所述喷嘴和所述排气通道成流体连通并且邻近于所述排气通道安置的约束气体源以及用以调节所述喷嘴的沉积喷嘴孔口与沉积靶之间的飞行高度分隔的致动器。对所述飞行高度分隔的调节可以停止和/或开始来自所述喷嘴的材料的沉积。

主权项

一种系统，其包含：喷嘴；与所述喷嘴成流体连通的待沉积在衬底上的材料源；与待用所述喷嘴沉积的所述材料源成流体连通的递送气体源；邻近于所述喷嘴安置的排气通道；与所述喷嘴和所述排气通道成流体连通并且邻近于所述排气通道安置的约束气体源；以及致动器，其用以调节所述喷嘴的沉积喷嘴孔口与沉积靶之间的飞行高度分隔。