| 发明名称 | 测量测试表面的高精度高度图的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高精度高度图的方法。该方法包括：通过设置于光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量测试表面的粗糙高度图；将粗糙高度图存储在存储器中；将粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于测试表面移动；以及使用高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。 | ||
| 申请公布号 | CN105318845A | 申请公布日期 | 2016.02.10 |
| 申请号 | CN201510441041.9 | 申请日期 | 2015.07.24 |
| 申请人 | 株式会社三丰 | 发明人 | A·T·祖德伟格;J·奎达克尔斯;H·维斯切 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇 |
| 主权项 | 一种使用多传感器光学轮廓仪来测量测试表面的高精度高度图的方法，包括以下步骤：通过设置于所述光学轮廓仪的具有相对长的工作距离和/或大的视野的预映射传感器来测量所述测试表面的粗糙高度图；将所述粗糙高度图存储在存储器中；将所述粗糙高度图细分为多个部分，以适合于设置于所述光学轮廓仪的相对高分辨率的光学轮廓仪传感器的视野；计算所述高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于所述测试表面的相应X、Y和Z位置；使用所计算出的X、Y和Z位置计算所述高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于所述测试表面在X、Y和Z方向上的轨迹；根据所述轨迹在X、Y和Z方向上使所述高分辨率的光学轮廓仪传感器相对于所述测试表面移动；以及使用所述高分辨率的光学轮廓仪传感器来测量高精度高度图。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||