一种真空镀膜设备观察窗的保护装置

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，包括带有固定挡片、内卡圈、外卡圈等结构的不锈钢筒体及保护玻璃。本实用新型在观察窗现有保护措施的基础上，采用一种简单的装置，将保护玻璃置于观察窗座内腔中，使得观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，从而有效地阻止污染物沉积在观察玻璃上，大大减少观察玻璃拆卸的次数，达到保护观察窗的目的。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后，只要将本实用新型从观察窗座内腔中取出，然后将保护玻璃从不锈钢筒体的一端取出便可进行清理。无需拆卸观察窗，操作方便简单，不影响真空室密封性能，保护玻璃清理干净后可以重新使用。

主权项

一种真空镀膜设备观察窗的保护装置，包括带有固定挡片1、固定挡片2、固定挡片3、内卡圈4、外卡圈5的不锈钢筒体7及保护玻璃6，其特征在于不锈钢筒体一端带有向内凹用于卡紧保护玻璃的卡圈，并且带有若干个固定挡片确保保护玻璃与观察玻璃紧密贴合，使用时将保护玻璃放入不锈钢筒体带有内卡圈的一端，再将带有保护玻璃的一端放进观察窗座的内腔中，并将不锈钢筒体往内推，使保护玻璃和观察玻璃贴合，并利用向外凸起的卡圈将不锈钢筒体卡在观察窗座内，所述的观察窗座一般为圆柱体并密封焊接在真空腔室上，保护玻璃在观察玻璃与真空腔室之间现成了间隔，从而可以有效地保护观察玻璃不被污染，达到减少拆卸观察窗的目的。