物体表面上的颗粒检测

摘要

本发明涉及物体表面上的颗粒检测。本发明公开了一种用于检验物体表面的系统和方法。在一个实施例中，所述系统包括用于照射物体表面的照射源、用于拦截来自被照射的物体表面的散射光并将物体表面的所需区域的真实图像进行投影的光学元件、以及用于接收被投影的真实图像的传感器。计算机系统可被耦合至传感器，用于储存和分析真实图像。在一个实施例中，所述方法包括用照射束照射物体表面、拦截来自被照射的物体表面的散射光、和将物体表面的所需区域的真实图像投影到传感器上。这样，系统和方法被提供用于掩模版上的污染物或缺陷进行原位检测。

主权项

一种用于检验具有一厚度的物体的表面的系统，包括：至少一个照射源，用于在相对于所述物体的照射路径中提供光学照射束以照射所述物体表面；光学元件，具有对应于小于所述物体厚度的1/5的焦深的数值孔径，布置在相对于所述照射路径的检测路径中，用于拦截来自所述被照射的物体表面的散射光并且将所述被照射的物体表面的全场的真实图像进行投影；和图像传感器，相对于所述光学元件和所述物体布置，用于接收所述被投影的真实图像和对所述被照射的物体表面的全场进行采样以获取真实的两维图像；和其中，位于所述物体表面上的颗粒在所述真实的两维图像中是可检测的。