用于生产太阳能电池的装置和方法

摘要

一种用于形成太阳能电池的方法和装置。该装置包括限定真空室的外壳；以及配置成在多个表面上保持多个衬底的可旋转衬底装置，其中多个表面中的每一个都设置成面向真空室的内表面。第一溅射源配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第一类型的吸收层原子。蒸发源设置在真空室的第一副室中并且配置成在多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第二类型的吸收层原子。第一隔离源配置成隔离蒸发源与第一溅射源。

主权项

一种用于形成太阳能电池的装置，包括：外壳，限定真空室；可旋转衬底装置，被配置成在多个表面上保持多个衬底，其中所述多个表面中的每一个都设置成面向所述真空室的内表面；第一溅射源，被配置成在所述多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第一类型的吸收层原子；蒸发源，设置在所述真空室的第一副室中并且被配置成在所述多个衬底中的每一个的至少一部分表面上方沉积多个第二类型的吸收层原子；以及第一隔离源，被配置成隔离所述蒸发源和所述第一溅射源，其中所述第一隔离源包括一个或多个隔离泵。