电子部件搬运装置以及电子部件检查装置

摘要

本发明涉及电子部件搬运装置以及电子部件检查装置。其中，电子部件搬运装置具备：构成装置的部件；对上述部件进行加热的加热部；检测湿度的湿度检测部；以及检测温度的温度检测部，在通过上述温度检测部检测到的温度为露点温度的2倍以下的情况下，对上述部件进行加热。另外，与上述部件接触的空气的湿度优选比与上述湿度检测部接触的空气的湿度低。另外，上述温度检测部优选配置于上述部件。

主权项

一种电子部件搬运装置，其特征在于，具备：部件，其构成装置；加热部，其对所述部件进行加热；湿度检测部，其检测湿度；以及温度检测部，其检测温度，在通过所述温度检测部检测到的温度为露点温度的2倍以下的情况下，对所述部件进行加热。